KEITHLEY吉時(shí)利6514型可編程靜電計(jì)的測試功能

　　KEITHLEY吉時(shí)利6514型可編程靜電計(jì)是一款高精度測量儀器，主要功能包括：

　　?電流測量?：范圍<1fA至20mA，噪聲低于1fA，適用于微弱電流檢測。

　　?電壓測量?：分辨率10μV，量程10μV-200V，輸入阻抗>200TΩ，適合高阻信號(hào)。

　　?電荷測量?：范圍10fC-20μC，用于靜電放電或材料表面電荷分析。

　　?電阻測量?：10Ω-200GΩ，精度優(yōu)于1%-10%。

　　?高速接口?：支持IEEE-488、RS-232，可配置自動(dòng)化測試系統(tǒng)。

　　其高靈敏度和寬量程使其適用于單電子器件、納米材料及電化學(xué)研究。

　　Keithley吉時(shí)利6514 本質(zhì)上是一臺(tái)多功能的超高靈敏度直流電參數(shù)測試儀器。雖然名稱是“靜電計(jì)”，但它遠(yuǎn)超傳統(tǒng)意義上僅用于測量電荷的靜電計(jì)。它集成了高阻電壓表、微弱電流表、電荷計(jì)和高阻源的功能，其核心優(yōu)勢在于極低的電流測量噪聲和極高的輸入阻抗。

　　典型應(yīng)用領(lǐng)域

　　?半導(dǎo)體器件研發(fā)與測試：MOSFET柵極氧化層漏電、二極管/光電二極管暗電流、晶圓級(jí)可靠性測試。

　　?材料科學(xué)研究：納米材料、高分子薄膜、絕緣材料的導(dǎo)電性/絕緣性表征。

　　?光電測試：作為高靈敏度電流計(jì)，與光源、單色儀配合，測量光電探測器響應(yīng)度、線性度。

　　?靜電放電研究與測量：量化靜電荷的產(chǎn)生和耗散。

　　?高能物理與核物理：電離室、輻射探測器輸出信號(hào)的測量。

　　?生命科學(xué)：膜片鉗技術(shù)的替代或輔助設(shè)備，測量微電流。

　　Keithley 吉時(shí)利6514可編程靜電計(jì) 是一款為測量“難以捉摸”的微弱電信號(hào)而生的終極工具。 當(dāng)您的測試任務(wù)涉及：

　　?低于 pA 的電流

　　?高于 GΩ 的電阻

　　?需要測量電荷

　　?測量高阻抗電壓源

　　那么，Keithley 吉時(shí)利6514可編程靜電計(jì)幾乎是無可爭議的選擇。它代表了低電平直流測量技術(shù)的巔峰，是材料科學(xué)、半導(dǎo)體物理和高精度傳感器測試等領(lǐng)域研究人員和工程師的“夢寐以求”之儀器。其操作相對(duì)源測量單元(SMU)更為專一和直接，但為了發(fā)揮其極限性能，必須嚴(yán)格遵守高阻測量規(guī)范(如使用三軸電纜、屏蔽箱、良好接地等)。